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北周武帝說不過和尚又恨道士不爭氣，乾脆下詔“斷佛、道二教，經像悉毀，罷沙門（僧尼）道士，並令還民。”詔令發佈之後，立即實施。“融佛焚經，驅僧破塔，……寶剎伽藍（寺廟）皆為俗宅，沙門釋種（僧尼）悉作白衣（還俗為平民）。”此時蜀新州果願寺僧僧猛，進京與周武帝論述不宜滅佛，靜藹法師亦面見周武帝論其滅佛之過，皆被逐出，宜州僧人道積，與同伴七人絕食而死，其事跡極為壯烈。

建德六年（577年）滅北齊後，接著把廢除佛教的政策推廣到北齊境內。武帝親自到鄴城（北齊國都，今河北臨漳縣西南20公裏漳水邊上），召僧人入殿宣布廢佛令，下令在原齊國境內滅佛，寺院等“準毀之”。當時，有僧眾五百餘人，都在俯首聽命，獨慧遠和尚厲聲抗辯說：“陛下今恃王力，破壞三寶（佛教名詞指佛、法、僧），是邪見人，阿鼻地獄（佛教名詞指十八層地獄）不論貴賤，陛下安得不怖？”武帝聽後大怒，眼睛直瞪著慧遠說：“但令百姓得樂，朕亦不辭地獄諸苦”。慧遠反駁說：“陛下以邪法化人，現種苦業，百姓當共陛下同墮地獄，何處有樂可得？”武帝不聽勸告，把廢佛運動在原北齊境內鋪天蓋地地發動起來。結果，四萬多所寺廟賜給王公作宅第，一切經像盡毀於火；寺院財產，簿錄入官，僧尼全部勒令還俗。

不久武帝身患惡疾，全身糜爛而死。不到三年，楊堅（隋朝開國皇帝）殺死周靜帝自立為皇帝，北周亡國。